共聚焦显微镜
原理
共聚焦显微镜以单波长的激光或LED作为光源,并通过共轭的空间针孔过滤掉非焦平面的杂散光从而
提高显微图像的对比度和分辨率,再通过扫描振镜的横向扫描以及高精度的Z轴扫描从而实现样品的
高分辨二维及三维成像。
优势
1. 高的横向分辨率:相对于传统的光学显微镜,其横向分辨率提高40%以上,最高可达120nm
2. 高的景深范围:共聚焦显微镜需要在高度方向上做扫描,得到一系列的切片图,然后进行图像叠加并得到三维图像,从而提高景深范围
3. 样品适用性强:非接触测试,无需样品制备和导电性处理,对样品无损伤(粉末、软性样品以及透明样品均可测试)
4. 丰富的测量结果:高分辨二维及三维成像、多种二维及三维显示结果对比、大面积图像拼接、非接粗糙度测量、膜厚测量、荧光分析等。
简便的操作及维护:无昂贵的耗材、模块化设计、人性化的操作软件、自动校正程序等。
参数
系统:ICCS无限远复消色差及反差增强型光学系统
总放大倍率:12.5~40000x
观察方式:明场、高级暗场、偏光观察方式
激光:405nm波长,半导体激光器,激光器强度可调。
横向分辨率:120nm
Z轴步进精度10nm,
照明: LED照明
物镜:2.5x、5x、10x、20x、50x、100x
变倍扫描范围0.5x-40x,步进精度0.1
物台:电动载物台,行程130 mm x 85 mm