天津 港东薄膜测厚仪SGC-10
仪器介绍
SGC-10薄膜测厚仪，适用于介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪，
是我公司与美国new-span公司合作研制的，采用new-span公司先进的薄膜测厚技术，基于白光干涉的
原理来测定薄膜的厚度和光学常数（折射率n，消光系数k）.通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界
面的反射光相干形成的反射谱，用软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚度d，折射率n，消光
系数k。该设备关键部件均为国外进口，也可根据客户需要整机进口。
强大的软件功能
界面友好，操作简便，用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数
据数据处理功能强大，可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚
度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材料的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充
材料数据库。
- 产品功能适用性
该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。
- 典型的薄膜材料为
SiO2、CaF2、MgF、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNx、TiO2、聚酰亚胺、高分子膜。
- 典型的基底材料为
SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。
仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带的光纤适配器（如图所示）连接到
带C-mount适用于微区（>10μm，与显微镜放大率有关）薄膜厚度的显微镜（显微镜需另配），就可以
使本测量仪测量。
